问答题
扩散是高温工艺，需要SiO2这样的耐高温硬掩膜，其扩散形成的结深较深。扩散是各向同性的，因此有较大......
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什么是离子注入的沟道效应？消除沟道效应的途径有哪些？
问答题什么是离子注入的沟道效应？消除沟道效应的途径有哪些？
请阐述扩散的局限性。
问答题请阐述扩散的局限性。
实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法？
问答题实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法？
