步进电机的步距角指在（）的作用下，电机转子转过的角位移。

测速发电机的负载电阻越大，其线性度（）。

填空题测速发电机的负载电阻越大，其线性度（）。

滚珠丝杠副中滚珠的循环方式有（）和（）两种。

填空题滚珠丝杠副中滚珠的循环方式有（）和（）两种。

电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。

填空题电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。