问答题
优点：①刻蚀剖面各向异性，非常好的侧壁剖面控制；②好的CD控制；③最小的光刻胶脱落或粘附问题；......
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简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
问答题简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。
简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。
问答题简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。
简述什么焦深（DOF）及其公式。
问答题简述什么焦深（DOF）及其公式。
