提高刻蚀速率的方法不包括（）。

刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。A.器件性能B.材料纯度C.生产效率D.成本

单项选择题刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。

刻蚀机的精度主要取决于（）。A.刻蚀方法B.刻蚀气体C.设备结构D.控制系统

单项选择题刻蚀机的精度主要取决于（）。

湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。A.强酸B.强碱C.盐溶液D.有机溶液

单项选择题湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。