问答题
开管CVD的特点：能连续地供气和排气；反应总处于非平衡状态；在大多数情况下，开口体系是在一个大气压或稍高于一个大气压下进......
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什么是冷壁CVD？什么是热壁CVD？特点是什么？
问答题什么是冷壁CVD？什么是热壁CVD？特点是什么？
简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
问答题简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
简述CVD热力学分析的主要目的。
问答题简述CVD热力学分析的主要目的。
