问答题
在显影时曝光区域由溶剂引起的泡胀；曝光时光刻胶可与氮气反应从而抑制其交联 。
列出并描述I线光刻胶的4种成分。
问答题列出并描述I线光刻胶的4种成分。
什么是负胶分辨率的限制，哪种胶应用在亚微米光刻胶中？
问答题什么是负胶分辨率的限制，哪种胶应用在亚微米光刻胶中？
列出并描述两种主要的光刻胶。
问答题列出并描述两种主要的光刻胶。
