束流电流（强度）靠电子枪里的（）完成。束流聚焦靠（）完成，而束流的偏转靠（）来实现。

电子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三个方面。

填空题电子束流控制包括（）、束流聚焦和（）等三个方面。

电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

填空题电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

电子束加工可以加工出（）、锐边。

填空题电子束加工可以加工出（）、锐边。