判断题
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电子束光刻分辨率高，效率低。
判断题电子束光刻分辨率高，效率低。
前烘也叫软烘。
判断题前烘也叫软烘。
晶圆具有各向异性特点，切片时要按照一定的方向进行。
判断题晶圆具有各向异性特点，切片时要按照一定的方向进行。
