多项选择题
A.热氧化B.掺氯氧化C.干氧氧化D.化学沉积
二氧化硅的作用有（）A.作为器件的保护层和钝化层B.掺杂掩蔽膜C.隔离D.元器件的组成部分
多项选择题二氧化硅的作用有（）
A.作为器件的保护层和钝化层B.掺杂掩蔽膜C.隔离D.元器件的组成部分
热氧化获得的二氧化硅的特点是（）A.晶体B.非晶体C.难溶于水D.能用HF腐蚀
多项选择题热氧化获得的二氧化硅的特点是（）
A.晶体B.非晶体C.难溶于水D.能用HF腐蚀
低压外延反应器的缺点是（）A.可以减小自掺杂反应B.对设备要求提高，必须防止泄漏C.工艺温度降低外延层晶格受影...
多项选择题低压外延反应器的缺点是（）
A.可以减小自掺杂反应B.对设备要求提高，必须防止泄漏C.工艺温度降低外延层晶格受影响D.缩小了过渡区可用于多层外延
