问答题
本征硅的扩散系数：硅中空位主要是中性空位；低掺杂（本征）下的扩散系数：杂质浓度与本征载流子浓度几乎相等（n=......
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列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。
问答题列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。
试说明扩散工艺中常用的扩散掺杂方法，并说明当前实际工艺中使用的主要方法及理由。
问答题试说明扩散工艺中常用的扩散掺杂方法，并说明当前实际工艺中使用的主要方法及理由。
淀积扩散主要受哪些因素的控制？
问答题淀积扩散主要受哪些因素的控制？
