名词解释
所有图形上淀积的薄膜厚度相同；也称共性覆盖。
PECVD（等离子增强CVD）
名词解释PECVD（等离子增强CVD）
LPCVD（低压CVD）
名词解释LPCVD（低压CVD）
APCVD（常压CVD）
名词解释APCVD（常压CVD）
