问答题
由栅下半导体中的载流子浓度、栅氧化层的厚度、栅氧化层的固定电荷密度、可动电荷密度、界面态密度等有关
简述光学光刻机的分辨率的计算。
问答题简述光学光刻机的分辨率的计算。
注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？
问答题注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？
离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。
问答题离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。
