名词解释
利用带有电荷的离子在电场加速后具有一定动能的特点,将离子引向欲被溅射的物质作成的靶电极。在离子能量合适的情况下,入射离子......
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真空蒸发镀膜法
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凝结系数
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气体分子的平均自由程
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