XPS只能检测元素种类，无法标定元素含量。

AFM通常用来观测样品表面形貌。

判断题AFM通常用来观测样品表面形貌。

TEM观测与SEM相同，对样品厚度没有要求。

判断题TEM观测与SEM相同，对样品厚度没有要求。

通常利用TEM观测的分辨率高于SEM。

判断题通常利用TEM观测的分辨率高于SEM。