问答题
（1）高分辨率 （2）高灵敏度 （3）精密的套刻对准 （4）大尺寸硅片上的加工 （5）低缺陷
简述几种常见的光刻方法。
问答题简述几种常见的光刻方法。
负胶是怎样的？
问答题负胶是怎样的？
简述正胶。
问答题简述正胶。
