单项选择题
A.曝光波长B.模板图案尺寸C.数值孔径
X射线光刻技术与传统光刻技术相比,是通过()的手段来提高分辨率的。A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有...
单项选择题X射线光刻技术与传统光刻技术相比,是通过()的手段来提高分辨率的。
A.减小波长B.增加数值孔径C.减小与系统有关的常数值
利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
判断题利用化学气相沉积法制备Si纳米薄膜只能通过热分解反应制得。
制备好的溶胶可通过()方法实现成膜。A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法
多项选择题制备好的溶胶可通过()方法实现成膜。
A.浸渍提拉法B.旋覆法C.喷涂法D.等离子体法