问答题
检查主管路的压力，检查急停开关是否被按下。
旋涂碗不动应检查什么？
问答题旋涂碗不动应检查什么？
当旋涂第二机械手不取片应检查什么？
问答题当旋涂第二机械手不取片应检查什么？
旋涂机手臂不动作如何处理？
问答题旋涂机手臂不动作如何处理？
