简答题 为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug（钨插塞）？

Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？

问答题Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？

简单说明Contact（CT）的形成步骤有那些？

问答题简单说明Contact（CT）的形成步骤有那些？

一般介电层IMD的形成由那些层次组成？

问答题一般介电层IMD的形成由那些层次组成？