单项选择题
a.离子束刻蚀、激光刻蚀 b.干法刻蚀、湿法刻蚀 c.溅射加工、直写加工
工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。a.气压传动机器人b.液压传动机器人c.电器传动机...
单项选择题工业机器人有多种分类方式，下列不属于按驱动方式分类的是（）。
a.气压传动机器人 b.液压传动机器人 c.电器传动机器人 d.智能机器人
硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加...
单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。
a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工； b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工； c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A.电子束曝光技术B.离子束曝光技术C.X射线曝光技术
单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。
A.电子束曝光技术 B.离子束曝光技术 C.X射线曝光技术
