问答题
利用离子撞击和溅射效应的离子束刻蚀、离子溅射镀膜和离子镀，利用离子注入效应的离子注入。
离子束设备由什么组成？
问答题离子束设备由什么组成？
离子束加工的特点是什么？
问答题离子束加工的特点是什么？
离子束加工的基本原理和特点是什么？
问答题离子束加工的基本原理和特点是什么？
