方块电阻又称薄层电阻/膜电阻。

外延层的晶向与衬底的晶向相同。

判断题外延层的晶向与衬底的晶向相同。

低压外延反应器内压力应控制在1～20kPa。

判断题低压外延反应器内压力应控制在1～20kPa。

低阻衬底上生长高阻外延层称为正向外延。

判断题低阻衬底上生长高阻外延层称为正向外延。