根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）

扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。A.面扩散B.均匀扩散C.梯度扩散D.替位式扩散

单项选择题扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。

氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）A.屏蔽层B.栅氧化层C.牺牲层D.衬垫层

多项选择题氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）

​下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）A.水汽氧化B.干氧氧化C.湿氧氧化D.化学气相淀积

单项选择题​下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）