问答题
①Co（或Ti）+TiN的沉积；②第一次RTA（快速热处理）来形成Salicide。③将未反应的......
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何谓硅化物( salicide)?
问答题何谓硅化物( salicide)?
简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？
问答题简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？
SAB是什么的缩写? 目的为何？
问答题SAB是什么的缩写? 目的为何？
