多项选择题
A.超浅结B.源漏注入C.深埋层D.阈值电压调整
离子注入后退火的目的是（）A.修复晶格损伤B.激活杂质C.提高硬度D.提高稳定性
多项选择题离子注入后退火的目的是（）
A.修复晶格损伤B.激活杂质C.提高硬度D.提高稳定性
离子注入的有点有（）A.设备简单B.不受固溶度限制C.避免高温过程D.杂质纯度高
多项选择题离子注入的有点有（）
A.设备简单B.不受固溶度限制C.避免高温过程D.杂质纯度高
掺杂的目的可能是（）A.形成PN结B.改变材料的电阻率C.改变材料的某些特性D.形成一定的杂质分布
多项选择题掺杂的目的可能是（）
A.形成PN结B.改变材料的电阻率C.改变材料的某些特性D.形成一定的杂质分布
