电容式位移传感器是将被测物理量转换为（）变化的装置。

机电一体化技术是（）与（）的结合；

填空题机电一体化技术是（）与（）的结合；

直流伺服电机的优点是（）、（）、响应速度快和（）等；无刷直流伺服电动机的优点是（）、（）和（）等。

填空题直流伺服电机的优点是（）、（）、响应速度快和（）等；无刷直流伺服电动机的优点是（）、（）和（）等。

谐波齿轮传动的三个主要部件是：（）

填空题谐波齿轮传动的三个主要部件是：（）