芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。

对正性光刻来说，剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。

判断题对正性光刻来说，剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。

曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。

判断题曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。

光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是，光刻胶只对特定波长的光线敏感，例如深紫外线和白光，而对黄光不敏感。

判断题光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是，光刻胶只对特定波长的光线敏感，例如深紫外线和白光，而对黄光不敏感。