多项选择题
A.比色法 B.双光干涉法 C.椭圆偏振光法 D.腐蚀法 E.电容-电压法
二氧化硅膜的质量要求有（）。A.薄膜表面无斑点B.薄膜中的带电离子含量符合要求C.薄膜表面无针孔D.薄膜的厚度...
多项选择题二氧化硅膜的质量要求有（）。
A.薄膜表面无斑点 B.薄膜中的带电离子含量符合要求 C.薄膜表面无针孔 D.薄膜的厚度达到规定指标 E.薄膜厚度均匀，结构致密
解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。A.加强工艺操作B.加强人体和环境卫生C.使用高纯化学试剂、高纯水和超净...
多项选择题解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。
A.加强工艺操作 B.加强人体和环境卫生 C.使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备 D.采用HCl氧化工艺 E.硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹
二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。A.玻璃器皿B.高温器材C.人体沾污D.化学试剂E.去离子水
多项选择题二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。
A.玻璃器皿 B.高温器材 C.人体沾污 D.化学试剂 E.去离子水
