问答题

简答题 列出热氧化物的硅片制造的六种用途,并给出各种用途的目的。

【参考答案】

金属层间绝缘阻挡层:用做金属连线间的保护层。
注入屏蔽氧化层:用于减小注入够到和损伤。
势氧化层:做......

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