单项选择题
A.热退火 B.激光退火 C.电子束退火 D.离子束退火
A.能量淀积 B.动量淀积 C.能量振荡 D.动量振荡
A.低温注入 B.常温注入 C.高温注入 D.分子注入 E.双注入
A.注入离子的质量 B.靶的种类 C.注入温度 D.注入速度 E.注入剂量
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