多项选择题
A.化学抛光B.机械抛光C.化学机械抛光D.CMP
A.分析纯B.化学纯C.99.9999999%D.9个N
A.工艺最先进B.材料性能优良C.工艺成本低D.晶圆尺寸最大
A.是1947年Bell实验室发明的B.是Ge（锗）晶体管C.是Si（硅）晶体管D.是1971年Intel发明的
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