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薄膜物理与技术
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单项选择题
不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。
A.分子流
B.原子流
C.紊流
D.层流
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相关考题
单项选择题
以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）
A.熔结
B.原子填充
C.吞并
D.原子团迁移
判断题
对于LPCVD Si
3
N
4
工艺，NH
3
/DCS比例越小颗粒改善越明显。（）
判断题
在LPCVD Si
3
N
4
制程中，增加总压力和DCS的分压可以增加淀积速度。（）
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