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薄膜物理与技术
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单项选择题
等离子鞘层中两极间的全部电压降几乎均集中在（）中。
A.阳极
B.阴极鞘层
C.阴极
D.阳极鞘层
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单项选择题
不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。
A.分子流
B.原子流
C.紊流
D.层流
单项选择题
以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）
A.熔结
B.原子填充
C.吞并
D.原子团迁移
判断题
对于LPCVD Si
3
N
4
工艺，NH
3
/DCS比例越小颗粒改善越明显。（）
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