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单项选择题

在高温下洁净的硅片表面和氧化剂发生反应生成二氧化硅薄膜的方法是（）

A.热氧化
B.化学气相沉积
C.物理气相沉积
D.外延

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B.铝膜
C.单晶硅
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A.将排列好的原子稳定下来
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