单项选择题
A.APCVDB.PECVDC.LPCVDD.HDPCVD
A.热氧化B.化学气相沉积C.物理气相沉积D.外延
A.多晶硅B.铝膜C.单晶硅D.氧化铝
A.20、40B.30、40C.40、60D.30、60
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