多项选择题
A.AUTO B.SEMI AUTO C.MANUAL D.WARMING UP
A.AUTO B.MAN C.CASS MODE D.WAFER SIZE
A.主轴局部锈使磨轮进刀不匀速 B.吸盘上有杂质膜丝等外来物 C.更换研磨轮后修整研磨轮不彻底减薄后晶圆背面纹路异常 D.吸盘旋转异常或转速不均匀
A.不核对《晶圆管制卡》厚度要求设置值与实际要求数值不一致 B.胶膜厚度不同导致 C.半自动机更换吸盘后工程人员设置零位时有误差 D.半自动机修机后磨头升降轴未锁紧
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