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多项选择题

PG3000RMX全自动减薄机不可减薄的晶圆规格有（）。

A.12
B.8
C.6
D.5

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多项选择题
PG3000RMX减薄机“MODE”按钮下有“（）”菜单选项。

A.AUTO
B.SEMI AUTO
C.MANUAL
D.WARMING UP
多项选择题
DR8500III贴膜机更改程序时：按“”打开程序修改界面，根据需要进行参数修改，修改“（）”；“WAFER TYPE”参数，修改完成后按“AUTO”返回到主界面。

A.AUTO
B.MAN
C.CASS MODE
D.WAFER SIZE
多项选择题
减薄工序造成磨纹不良的因素有哪些（）。

A.主轴局部锈使磨轮进刀不匀速
B.吸盘上有杂质膜丝等外来物
C.更换研磨轮后修整研磨轮不彻底减薄后晶圆背面纹路异常
D.吸盘旋转异常或转速不均匀
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