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判断题

VPE过程其实就是一种CVD的过程。

【参考答案】

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判断题
CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。
多项选择题
下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）

A.化学汽相沉淀法
B.原子层沉淀法
C.水汽氧化
D.氢氧合成氧化
多项选择题
关于热氧化速率，说法正确的是（）

A.温度越高，速度越快
B.压力越大，速率越快
C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快
D.掺杂浓度越高，速率越快
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