多项选择题
A.APCVDB.LPCVDC.PECVDD.LCVD
A.半导体B.绝缘体(介质)C.导体D.二氧化硅
A.200B.88C.100D.56
A.干氧氧化B.水汽氧化C.高压氧化D.掺氯氧化
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