单项选择题
A.干氧氧化B.水汽氧化C.高压氧化D.掺氯氧化
A.较短的时间得到较厚的薄膜B.得到较好的表面C.较好的二氧化硅特性D.提高氧化膜的质量
A.最后B.最先C.随机D.中间
A.温度越高，氧化速率越慢B.温度越高，氧化速率越快C.没有关系D.温度越高越好
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