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单项选择题

以下不属于电子束加热的优点的是（）。

A.蒸发温度高
B.工艺设备简单
C.热效率高
D.高纯度淀积

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单项选择题
‏以下不属于真空蒸发过程的是（）。

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C.PH3
D.PCl3
单项选择题
‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）

A.工艺简单
B.高温、深结
C.不能独立控制结深和浓度
D.横向扩散
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