多项选择题
A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚
A.抛光机B.抛光液C.抛光盘D.抛光垫
A.抛光压力B.抛光液PH值C.转速D.抛光区域温度
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