多项选择题
A.实现杂质浓度突变B.优化衬底材料性能C.设计更加灵活D.让硅片更厚
A.抛光机B.抛光液C.抛光盘D.抛光垫
A.抛光压力B.抛光液PH值C.转速D.抛光区域温度
A.平滑处理B.部分平坦化C.局部平坦化D.全局平坦化
微信扫一扫,加关注免费搜题
