单项选择题
化学机械抛光中，抛光液的作用是（）
A.与硅片表面材料反应，变成可溶物质或一些硬度过高的物质变化
B.向抛光垫施加压力
C.将反应生成物从硅片表面去除
D.清洗硅片
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单项选择题
A.与硅片表面材料反应，变成可溶物质或一些硬度过高的物质变化
B.向抛光垫施加压力
C.将反应生成物从硅片表面去除
D.清洗硅片
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