填空题
离子注入掺杂剂量偏差的原因主要来源于：（）、（）和可能的（）。 例如：当作28Si+注入时，可能有真空系统中剩余气体产生的（）也会同时注入。
【参考答案】
中性原子注入；二次电子效应；相同荷质比离子的注入；N2+
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