填空题
要实现金属互连线与Si的良好欧姆接触，还必须做（）处理。为了避免铝钉扎和电迁移现象，常用（）、（）合金和（）替代纯铝。铝合金化工艺的条件是：（）
【参考答案】
合金化；Al-Si；Cu-Al；Cu；450℃，30分，N2/H2（4：1）
点击查看答案
