单项选择题
A.衬底加热器 B.抽气系统 C.真空室 D.蒸气源加热器
A.真空镀膜机 B.真空镀膜室 C.真空镀膜器 D.真空镀膜仪
A.真空蒸发 B.离子束蒸发 C.电子束蒸发 D.粒子束蒸发 E.常压蒸发
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