多项选择题
A.真空蒸发 B.离子束蒸发 C.电子束蒸发 D.粒子束蒸发 E.常压蒸发
A.电子源 B.电子泵 C.电子管 D.电子枪
A.重要步骤 B.次要步骤 C.首要步骤 D.不一定
A.低电阻率 B.易与p或n型硅形成欧姆接触 C.可与硅或二氧化硅反应 D.易于光刻 E.便于进行键合
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