问答题
简答题
例出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。
【参考答案】
第一步：气相成底膜处理，其目的是增强硅片和光刻胶之间的粘附性。
第二步：旋转涂胶，将硅片被固定在载片台上，一定数......
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