问答题
简答题
在量测Contact /Via(是指metal与metal之间的连接)的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?
【参考答案】
通过Contact 或Via的 Rc值,Rc值越高,代表接触窗的电阻越大, 一般来说我们希望Rc 是越小越好的。
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