问答题
简答题
Glue layer（粘合层）的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么？
【参考答案】
因为W较难附着在Salicide上,所以必须先沉积只Glue layer再沉积W Glue layer是为了增强粘合性而......
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